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第57章 从零到一

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焦深 DOF=λ/NA²。

虽然λ和 n同比例微调时 DOF物理上无法做到绝对恒定,但这区区几pm的波长调谐量,带来的焦深波动仅有纳米级的千分之一,在工程容差上完全可以忽略不计!

切入点,被他找到了!

李东立马准备将这个“光源波长实时同步调谐补偿方案”写在试卷上。

然而,当他动笔时却突然僵住了。

“等等……”

“要微调λ,激光器必须要接收到一个精准的控制指令,这个指令从哪来?”

题目要求响应速度≤ 1ms,且不能有任何与晶圆表面直接接触的部件。

这意味着,用接触式温度传感器实地测量水温的方案完全不可行,响应速度不达标呀。

“唯一的办法是……前馈控制!”

李东无短板的0.2属性开始发挥作用。

“必须提前建立一个精准的映射模型。”

“这套系统的所有核心工况参数现在都是已知的。”

“我只需要通过预实验,标定出不同工况参数组合下,曝光狭缝内浸没液的瞬态温升ΔT,再通过超纯水的折射率温度系数,推导出对应的Δn,最后直接把这个预标定的补偿值同步反馈给激光器,让它在激光出光的瞬间,同步完成Δλ的调整!”

想通了这一层,李东却感到一阵深深的无力感。

要建立这个无延迟的前馈预测模型,核心是什么?

是要精准描述高速扫描边界下,激光能量沉积、浸没液流动与瞬态热传导的耦合关系。

本质上就是要对(N-S方程)与瞬态热传导方程进行强耦合求解,建立起工况参数与Δn之间的精准数值映射。

李东看着草稿纸上自己列出的流体控制方程,苦笑了一声。

他懂波动光学,懂经典力学,懂热力学基本定律。

但他没有系统学过计算流体力学,也还没有掌握处理这种强非线性偏微分方程组的数值求解工具。

他能写出方程的形式,却无法完成工程化的模型标定与求解。

“陈老师说得对,我的知识,果然是一座座孤岛。”

“得早点把桥造好了……陈老师造的还是太过简陋了。”

李东放下笔,叹了口气。

“切入点我找到了,光学的核心原理完全通顺,工程实现的路径也清晰了,但落地的最后一步‘流热耦合前馈模型的构建与


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