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第四百一十七章:碳基芯片的离子掺杂

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原因就是华国在石墨烯单晶晶圆这条路上走的最远,最方便华国接收。

人嘛,都是有私心的,韩元也不例外。

虽然现在他的目标已经转换,但这并不代表就要平等对待各国。

科学无国界,但科学家是有国界的。

.......

模拟空间,化学实验室中,韩元已经完成了对石墨烯单晶晶圆的处理。

下一步是对其进行光蚀。

也就是所谓的光刻机加工。

离子注入不在这一步,离子注入需要在光刻机加工完后才能进行处理。

如果使用光刻机进行加工碳基芯片的话,其步骤和加工硅基芯片是一样的。

第一步是制造晶圆,硅基芯片的晶圆材料是单晶硅,碳基芯片的是石墨烯单晶。

当然,除了石墨烯单晶外,碳基芯片还可以使用碳纳米管、碳纳米球这些碳纳米材料的制备的。

这并不冲突。

......

晶圆制造完成,纯度等条件符合要求后第二步就是对进行涂膜。

这一步其实就是保存晶圆的步骤。

毕竟无论是碳基芯片还是硅基芯片,其晶圆材料被制造出来后都不会马上就使用。

在现实中,amsl公司是制造芯片的超级厂商之一,但它的晶圆材料是来自进口的。

其主要来源就是小岛国。

从小岛国进口的超高精度的单晶硅晶圆从生产到切片到运输,都需要一段漫长的时间。

即便是制造出来晶圆,等到加工时再临时切片,也避免不了氧化作用。

所以就要对晶圆涂膜,让其能抵抗氧化以及耐温能力。

至于使用的材料,是为光阻材料中的一种,他之前保存石墨烯晶圆材料时,使用的就是一种避光树脂。

第三步是光刻机加工。

通过给晶圆涂上对紫外光敏感的化学物质,也就是光刻胶,通过控制遮光物的位置就可以得到芯片的外形。

然后再进行显影操作,通过溶剂去掉没有被照射或者被照射的部分,就可以得到刻蚀了电路图的芯片了。

而这一步结束后,才能进行第四步:搀加杂质,也就是所谓的离子注入。

将光蚀完成后的晶圆放入特定的化学离子混合液中,可以改变搀杂区的导电方式。

有些简单的芯片可以只用一层晶圆,但复杂的芯片,比如手机或电脑上用的


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